- Silizium Balkenresonator (silicon beam resonator)
- elektro-thermmische Anregung und Detektion
- metal thin-film (DMS)
Silizium-Einfachbalken, GMS-Kraftsensor, Balkenresonator
Silizium-Einfachbalken, GMS-Kraftsensor, Balkenresonator
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