ThomasFabula / FASENS_Messungen

FASENS-Messprotokolle: optische POLYTEC + elektrische Impedanz/GAIN-PHASE Messungen an Silizium-Strukturen

FASENS_Messungen

FASENS

• Gegenstand: BMFT-Verbundprojekt mit Verbundpartnern
• Begriffsdefinition: FASENS = Frequenzanaloge Sensoren
• Sensorarten: Resonante Druck- und Kraft-Sensoren, Strömung, etc.
• Anregung: piezoelektrischer Antrieb (ZnO-Dünnschicht, PZT-Keramik, bzw. Quarz-Technologie)

Messprotokolle

• optische Messungen mit POLYTEC-Laservibrometer (OFV1102 HR): https://www.polytec.com/de
• elektrische Impedanz/GAIN-PHASE Messungen: https://www.keysight.com/us/en/product/4194A/impedancegainphase-analyzer.html
• an piezoelektrisch angeregten Silizium-Strukturen (Silicon)
• mit Hilfe piezoelektrischer Dünnschichten (ZnO) und Piezo-Keramiken (PZT)

Further information

• https://tfconsult.com/tag/bmft/
• https://tfconsult.com/tag/FASENS/
• https://tfconsult.com/verbundforschung-mikrosystemtechnik/
• https://tfconsult.com/experimentelle-verifikation/
• https://tfconsult.com/verbundforschung-frequenzanaloge-sensoren/
• https://tfconsult.com/schwingungsmessung-an-mikromechanischen-bauelementen/